올림푸스 OLS5000 3D 레이저 측정 현미경 - 2

OLYMPUS OLS5000 3D 측정 레이저 현미경 - 안정적인 신뢰할 수 있는 데이터를 빠르게 획득 !!!

OLS5000의 신뢰할 수있는 데이터를 제공하는 첨단 기술

1) 미세한 패턴 및 결함 감지 [우수한 측면 해상도]

405nm 바이올렛 레이저 및 전용 high-NA 대물 렌즈는 기존 광학 현미경, 백색광 간섭계 또는 적색 레이저 기반 현미경으로는 감지 할 수 없는 미세한 패턴과 결함을 포착 할 수 있음

2) 올림푸스 스캐닝 기술 [신개발 MEMS 스캐너]

Olympus MEMS 스캐너는 스캔 트레이스 왜곡이 적고 광학 수차가 최소화 된 정확한 X-Y 스캔을 수행

OLS5000 현미경은 시야의 중심 또는 주변 측정 여부에 관계없이 균일 한 결과를 얻음

    [루 버트 앤 컴퍼니 리미티드 (Rubert & Co., Ltd.)에 의한

표준 거칠기 샘플 528 (Pt = 1.5μm) (MPLAPON20XLEXT)]

3) 가파른 경사면 및 나노 미터 크기의 단계 감지 [4K 스캔 기술]

4K 스캔 기술은 기존 시스템보다 4 배 많은 4,096 픽셀을 X 축 방향으로 스캔[이렇게하면 높이 방향의 신뢰성이 향상되고 해상도가 향상] [신호 대 잡음비는 2 배 향상]

OLS5000 현미경은 이미지를 보정하지 않고도 거의 수직 인 경사를 감지 할 수 있음

[87.5 ° 경사면 검출 (MPLAPON50XLEXT)]                 [독일 국립계측연구소(MPLAPON20XLEXT)의 표준 6 nm 높이 샘플]

4) 빠르고 정확한 측정 [PEAK 알고리즘]

OLS5000 현미경에는 3D 데이터 구성을위한 PEAK 알고리즘이 통합되어 있음 [이 알고리즘은 저배율에서 고배율까지 매우 정확한 데이터를 제공하고 데이터 수집 시간을 줄임]

[VLSI 표준 80 nm 높이 샘플 (MPLFLN10XLEXT)]

5) 데이터 수집을 위한 최적의 채널을 자동으로 선택 [이중 공 초점 시스템]

이중 공 초점 시스템은 핀홀 직경이 다른 2 개의 공 초점 광학 채널로 구성

렌즈 유형 및 데이터 수집 모드에 따라 최적의 채널이 선택되어 안정적인 데이터를 신속하게 수집 할 수 있음

6) 안정적인 작동 Sq 거칠기 (거칠기 측정) 보증

Sq 거칠기는 측정 도구의 높이 감지 해상도의 양자화

[OLS5000 현미경은 측정 노이즈가 ISO25178-700을 준수 함을 보장]

[MPLAPON 100x LEXT 대물 렌즈에서 측정 거칠기는 1 nm]

 [독일 국립계측연구소(MPLAPON1000XLEXT)의 표준 6 nm 높이 샘플]

7) 405nm 레이저에 맞게 조정 된 대물랜즈 [LEXT 전용 대물랜즈]

Olympus는 수차를 405nm로 줄일 수있는 10x ~ 100x 대물 렌즈를 제공

모든 전용 LEXT 대물 렌즈의 측정 성능이 보장되므로 관찰중인 샘플에 가장 적합한 것을 선택할 수 있음

 [LEXT 전용 대물랜즈]                                                                       [전용 대물랜즈로 수차가 최소화]

8) 정확한 모양의 캡처 [Smart Judge function]

OLS5000 현미경은 Olympus의 Smart Judge 알고리즘을 사용하여 신뢰할 수있는 데이터 만 자동으로 감지하여 미세한 높이 불규칙 데이터를 잃지 않으면 서 정확한 측정을 용이하게함

9) 안정적 작동을 위해 [국제산업표준 기반]

대물 렌즈에서 레이저 헤드에 이르기까지 OLS5000 현미경에 사용되는 모든 구성 요소는 엄격한 생산 시스템에서 제조되어 고품질을 유지함
측정 결과는 국제산업 표준에 시스템을 기반으로함
현미경이 제공되면 자격을 갖춘 엔지니어가 최종 조정을 수행하고 시스템을 보정하여 응용 분야에 맞게 현미경을 최적화 함

[Olympus는 ILAC-MRA 보정으로 인증 된 보정 인증서를 발급인증 기관 (JCSS, JAB).]

10) 측정 결과에 확신을 가짐 [정확성과 반복성 보장]

Olympus는 추적 가능한 시스템을 기반으로 현미경의 정확성과 반복성을 보장하므로 측정 결과를 확신 할 수 있음

11) 하이브리드 매칭 알고리즘

[시야를 벗어난 표면 계측]

OLS5000 현미경은 전동 스테이지에 길이 측정 모듈이 통합되어 있으며 올림푸스는 스티칭 된 이미지 데이터의 정확성을 보장

이전 레이저 현미경은 패턴 매칭을 기반으로 데이터를 스티칭했지만, OLS5000 현미경은 길이 측정 모듈에서 패턴 매칭으로 위치 정보를 추가하여 정확성이 보장 된 매우 안정적인 스티칭 데이터를 제공

12) Olympus에서 기대하는 성능 표준

[운영 환경에 맞는 측정 성능 보장]

모든 측정 도구를 사용하는 도구는 사용되는 운영 환경에서 최적의 측정 성능을 제공하는 것이 중요함(실제 작동 환경을 고려하지 않고 배송 전에 만 공구 성능이 보장되는 경우 공구를 설치 한 후에도 동일한 결과를 제공하지 못할 수 있음)

필요한 성능을 보장하기 위해 Olympus 엔지니어는 운영 환경에서 도구를 조립, 조정 및 교정

[교정 인증서 및 검사 결과는 현미경을 성공적으로 설치 한 후에 만 발행되므로 안심하고 시스템을 작동 할 수 있음]

13) 한 번의 클릭으로 장비 검사

[정확도 관리 기능](2018 년 출시)

측정 결과를 증거로 기록 할 때 장비의 상태를 관리하는 것이 중요 함

OLS5000 현미경은 교정 인증서를 사용하여 교정 샘플 (옵션)뿐만 아니라 각 측정 전에 장비의 상태를 확인하는 검사 기능을 제공

교정 샘플을 사용하면 한 번의 클릭으로 검사 작업을 완료하고 교정 결과를 보고서에 레코드로 삽입 할 수 있음

14) 다양한 설치 환경에 대한 강성 및 진동 저항

[하이브리드 감쇠 메커니즘]

OLS5000 현미경에는 코일 스프링과 감쇠 고무를 사용하여 작동 환경을 안정화시키는 진동 감쇠 메커니즘이 통합되어 있음

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[Hybrid vibration dampening mechanism]

OLS5000의 사용자 친화적 인 고해상도 / 고배율 관찰

1) 샘플 위치 추적 [실시간 매크로 매핑]

스테이지가 움직일 때, 시스템은 사용자가 샘플에서 길을 잃지 않도록 실시간으로 움직이는 트레이스에 이미지를 연결하는 파노라마 매크로 맵을 만듬
매크로 맵 이미지를 보고서에 삽입하여 샘플의 확대 된 이미지를 전체 위치와 연결할 수 있음

2) 초점 문제 해결 [연속 자동 초점]

현미경의 연속 자동 초점은 위치 검색 중 또는 대물 렌즈 변경시 이미지의 초점이 유지되므로 수동 조정의 필요성을 최소화함 [영구 초점 추적을 통해 사용자는 빠르고 안정적으로 관찰을 수행 할 수 있음]

3) 나노 메트릭 불규칙성 감지 [나노 스케일 실시간 관찰을위한 듀얼 DIC]

미분 간섭 대비 (DIC) 관찰은 5 배 또는 10 배의 저전력 대물 렌즈를 사용하는 경우에도 일반적으로 레이저 현미경의 분해능을 넘어서는 나노 대의 표면 윤곽을 시각화하는 데 사용

DIC 레이저 모드 덕분에 OLS5000 현미경은 상대적으로 낮은 배율에서도 전자 현미경과 비슷한 라이브 이미지를 얻을 수 있음  [나노 대의 흠집 및 결함을 실시간으로 관찰하며 미세한 손상 확인에도 현미경 이미지가 도움이 됨]

4) 보다 명확한 관찰을 위해 [컬러 HDR 관찰]

콘트라스트가 낮은 샘플이나 현미경의 HDR (High Dynamic Range) 기능으로 실시간으로 샘플에 미세한 모양을 관찰

HDR은 서로 다른 노출로 여러 이미지를 캡처하여 결합함

5) 컬러 및 레이저 관찰 [이중 관찰]

사용자는 레이저 이미지와 고해상도 컬러 이미지를 동시에 관찰 할 수 있음

이는 색상의 차이를 평가하거나 금속 표면의 부식을 평가하고 거울 표면 또는 필름과 같이 대비가 매우 낮은 샘플에 초점을 맞추는 데 유용 함

OLS5000의 고급 스캔 기능

1) 시작 버튼 만 누르면 완전 자동 3D 데이터 획득 [스마트 스캔 II]

레이저 현미경으로 데이터를 획득하려면 수동 조정이 필요하지만 Olympus의 Smart Scan II는 이러한 조정을 자동화하여 획득 한 데이터의 변동을 최소화하고 효율성을 최대화 함

1.1) 스캔 속도

Olympus의 PEAK 알고리즘과 양방향 스캐닝은 기존 모델보다 4 배 빠른 측정을 수행

빛 감지 감도 및 데이터 수집 범위가 더 이상 필요하지 않으므로 작업 효율성이 크게 향상

1.2) Skip scan

전자 부품 또는 MEMS와 같이 거의 수직 인 평면을 포함하는 샘플에서 계단 모양을 측정 할 때 Z 방향에서 불필요한 스캐닝 범위를 건너 뛰어 데이터 수집 시간을 줄일 수 있음

700 μm 단계는 정확도를 떨어 뜨리지 않고 약 15 초 안에 측정 할 수 있음 (PLAPON20x 사용시)

1.3) HDR 스캔

OLS5000 현미경은 각 시료의 요구 사항에 맞게 자동 판단 시스템을 갖추고 있음

HDR 스캐닝은 감지 감도를 변경하여 두 세트의 형상 데이터를 획득하고이를 사용하여 정확한 형상 데이터를 구축

2) 광범위한 측정 처리 가능 [광범위한 데이터 수집 모드]

OLS5000 현미경은 광범위한 데이터 수집 모드를 통합

여기에는 단일 필드에서 컬러 이미지, 레이저 이미지 및 3D 모양 데이터를 동시에 획득 할 수있는 1- 영역 모드, 필드 중심에서 단일 선의 모양을 획득하는 1- 라인 모드, 및 박막의 두께를 측정 할 수있는 막 두께 모드를 포함

3) 넓은 범위에서 고해상도 측정

[스티칭 모드]

평면 방향으로 데이터를 스티칭하여 최대 3600 만 픽셀의 넓은 필드에서 정확한 데이터를 얻을 수 있음  
매크로 맵에서 대상 영역을 쉽게 지정할 수 있음
지정된 스티칭 영역을 저장하고 나중에 불러올 수 있음

4) 투명 필름의 상부 표면 형상 분석 [상단 표면 감지 필터]

투명 필름이 샘플 표면에 층을 이루면 레이저 현미경은 반사광 강도가 가장 높은 인터페이스를 감지 할 수 있음

상부 표면 검출 필터는 편광 특성을 사용하여 상부 표면의 형상의 검출을 용이하게 함

[교토 대학 나노 기술 허브 제공 실리콘

기판 (MPLAPON100XLEXT) 패턴 저항]

5) 필요한 영역에서만 고속 수집 [밴드 스캔]

제한된 대상 영역에 대한 1 영역 또는 필름 두께 모드에서 밴드 스캔은 Y 방향의 데이터 크기를 변경하여 필요한 영역의 데이터를 더 빠른 속도로 수집 함

6) 이미지 세부 손상 및 표면 불규칙 [초 고화질 (UHD) 모드]

초 고화질 모드는 광학 해상도가 단일 픽셀의 크기보다 큰 경우에 유용

렌즈 나 줌 배율을 확대하지 않고도 정밀한 모양을 정확하게 캡처 할 수 있음

올림푸스 현미경 전문 회사 세미웍스

경기도 성남시 분당구 탄천상로 164(구미동) 시그마II B동 530호

(문의) TEL : 031-726-5588, Email : semiworks@semiworks.co.kr