작업자들의 차이를 최소화하는 데 도움이 되는 OLS5000 분석 기능
1) 측정 영역 지정 [간단한 분석]
간단한 분석 기능은 지정된 측정 영역에서만 스텝, 선폭, 표면 거칠기 및 부피를 측정
체적 분석에서 기준면의 가장자리 위치 및 임계 값과 같은 측정 결과의 변동 원인은 자동으로 감지되므로 측정 결과가 안정적이며 작업자의 기술 수준에 영향을 받지 않음
지정된 두 영역 사이의 각도 차이 측정
지정된 지역의 부피 측정
지정된 영역의 가장자리를 자동으로 감지하여 너비 측정
2) 한 번의 클릭으로 최적의 보정 [자동 보정]
OLS5000 현미경을 사용하면 정확한 데이터를 제거하지 않고 측정 노이즈를 자동으로 제거하는 처리 (Smart Judge)와 높이 영점 (Smart Leveling)에서 주 수평면 (기준면)을 자동으로 감지하는 처리를 수행 할 수 있음
[한 번의 클릭. 복잡한 설정이 없으므로 조작자의 기술과 경험이 결과에 미치는 영향을 최소화]
[프로파일 측정]
프로파일 측정 기능은 이미지에서 측정 할 위치에 측정 선을 임의로 그려서 표면 프로파일을 표시
[임의의 두 점, 폭, 단면적 및 R 사이의 단계를 측정]
접촉 식 측정 도구와 달리 측정 위치를 쉽게 설정할 수 있음
이미지에서 측정 라인과 포인트를 확인할 수 있으므로 아주 작은 것도 정확하게 측정 할 수 있음
4) 목표 위치에 측정 선 그리기 [프로파일 지원 도구]
지정된 측정 지점의 최대 / 최소 지점, 두 선의 교차점, 원통 중심 또는 구 중심을 지정하여 원하는 측정 선을 지정할 수 있음
[획득 한 데이터에 사이트가 지정되면 지정된 조건에 따라 기능 포인트가 자동으로 추출되어 운영자 관련 변동이 줄어 듬]
5) 측정 포인트를 확실하게 지정 [측정 보조 도구]
최고, 최저, 중간 및 / 또는 평균 포인트를 사용하여 측정 할 포인트를 정확하게 지정할 수 있음
[획득 한 데이터에 사이트를 지정하면 지정된 조건에 따라 특징점이 자동으로 추출]
OLS5000의 포괄적 인 분석 및 보고서 기능
1) ISO4287 준수 [선 거칠기 측정]
접촉 표면 거칠기 측정기는 매우 작은 위치에 스타일러스를 배치하기 어렵 기 때문에 튜브 나 와이어의 목표 위치를 정확하게 측정 할 수 없으나 OLS5000 현미경을 사용하면 작업자가 표면에서 데이터를 수집 한 후 측정 라인을 지정하여 작은 대상의 라인 거칠기를 쉽게 측정 할 수 있음
2) ISO25178 준수 [면적 거칠기 측정]
OLS5000 현미경은 0.4 μm 직경의 레이저 빔으로 샘플 표면을 스캔하여 접촉 표면 조도 게이지로 측정 할 수 없는 샘플의 표면 조도를 쉽게 측정 할 수 있음 [접촉 표면 거칠기 게이지로 측정 할 수 없는 표면의 컬러 이미지, 레이저 이미지 및 3D 형상 데이터를 동시에 획득 할 수 있으므로 분석 범위가 확장]
3) 정확한 위치 사양 [면내 측정]
두 점 사이의 거리, 두 선에 의해 형성된 각도 및 특정 부위의 면적을 포함한 다양한 측정을 이미지에서 실행할 수 있음
[자동 에지 감지 기능도 제공되어 작업자의 기술에 관계없이 정확한 위치 지정이 가능]
4) 참조 평면과 쉽게 비교 [계단 높이 측정]
수집 된 데이터에서 비교 대상으로 사용될 높이 기준 부위와 측정 부위를 지정하면 기준 부위와 측정 부위 사이의 최대, 최소 및 평균 단계 차이를 수량화 할 수 있음 [지정된 사이트는 나중에 저장하고 로드 할 수 있어 이 기능을 반복 측정에 적합하게 만듬]
5) 두 데이터 항목의 차이점 확인 [차이 측정]
이동 / 비고 판단, 마모 전후의 모양 (높이) 차이, 표면적 및 체적을 포함한 차이를 시각적으로 확인하고 정량화 할 수 있음
[한 번의 클릭으로 데이터 (XYZВ)와 각도 조정 데이터 사이의 위치 정렬을 한 번의 클릭으로 자동으로 수행 할 수 있어 표면 모양의 차이를 효율적으로 분석 할 수 있음]
6) 여러 표면 요철을 자동으로 감지
[면적 / 볼륨 측정]
표면 불규칙성이있는 부위의 면적 및 부피는 획득 된 이미지에서 기준 높이 평면을 설정함으로써 측정 될 수 있음
샘플의 모양에 따라 참조 평면을 자동으로 감지 할 수도 있음
표면 불규칙성을 갖는 다수의 부위가 검출되면, 각각의 부위의 기준 평면으로부터의 부피, 면적, 표면적 및 높이가 측정 될 수 있음
7) 자동 피크 감지 기능 [히스토그램 분석]
히스토그램은 획득 한 높이 데이터 또는 색상 또는 레이저 강도의 분포를 나타내며 단계 및 면적 측정에 사용될 수 있음
자동 히스토그램 피크 감지뿐만 아니라 모드, 반값 너비 및 3М과 같은 통계량의 출력도 제공
8) 구 반경 및 표면 각도 자동 측정
[구 / 실린더 / 표면 각도 분석 (2018 년 출시)]
샘플이 마이크로 렌즈 배열과 같은 반복적 인 모양을 갖는 경우, 반경, 잔류 오차 및 표면 각도를 측정 할 수 있음
특징 부분을 관심 사이트로 지정함으로써, 획득 된 데이터에서 모든 동일한 특징 부분이 자동으로 추출되어 측정 결과를 출력 할 수 있음
9) 자동 너비 / 높이 측정
[자동 에지 측정 (2018 년 출시)]
반도체 칩상의 규칙적인 패턴의 폭 및 높이는 특정 검출 조건에 따라 측정 될 수있다. 샘플의 특성에 따라 컬러 이미지, 레이저 이미지 및 3D 모양 데이터에 다양한 설정을 적용 할 수 있음 [이 기능은 반복 샘플 측정에 유용]
10) 자동 입자 직경 / 중심 측정
[입자 분석 (2018 년 출시)]
수집 된 데이터에서 입자를 자동으로 감지 할 수 있음
각 입자의 직경, 무게 중심, Feret 직경 및 진원도를 측정 할 수 있음
결과는 히스토그램으로 출력할 수 있음
11) 투명체의 두께 측정
[필름 두께 측정 (2018 년 출시)]
투명체의 막 두께 및 계면 높이를 측정 할 수 있음
다층 모드는 투명 필름의 3D 확장, 구조 및 위치 관계를 분석하는 데 유용
결함 모드는 빛 감지 강도를 이미지로 변환하며 반사 강도가 매우 낮은 인터페이스를 분석 할 때 유용
[다중 파일 분석 (2018 년 출시)]
획득 한 여러 데이터 항목은 디스플레이 스케일과 3D 디스플레이 각도가 통합되어 나란히 표시 될 수 있음
이미지 보정 및 분석을 동시에 수행 할 수 있음 [이 기능은 처리 조건이 다른 여러 샘플의 모양을 분석하거나 결함 분석에 유용]
13) 보다 전문적인 분석을위한 도구
[OLYMPUS Stream 소프트웨어]
OLYMPUS Stream 산업용 이미지 분석 소프트웨어 (옵션)는 고도로 전문화 된 응용 분야에 사용
OLS5000 현미경으로 캡처 한 데이터는 OLYMPUS Stream 소프트웨어를 사용하여 쉽게 표시하고 분석 할 수 있음
14) 보고서 레이아웃 기능 [보고서 출력]
분석 결과를 보고서에 출력 할 수 있으며 사용자가 원하는 출력 형식에 맞게 사용자 정의 할 수 있음
편집 가능한 LEXT 독점 형식 외에도 데이터를 Excel®, PDF 또는 RTF로 내보낼 수도 있음
15) 쉬운 재실행 / 실행 취소 [이미지 처리 이력]
획득 한 데이터의 이미지 처리 이력을 표시하여 여러 실행 취소 및 재실행 작업을 수행 할 수 있음
이는 다른 데이터에 사용 된 이미지 처리를 확인하거나 다른 획득 된 데이터로 처리 내용을 확인할 때 편리
[CAD 데이터 출력]
획득 한 데이터는 STL 형식 (메쉬 데이터)으로 출력되어 CAD 응용 프로그램으로로드 될 수 있음
상용 CAD 검사 소프트웨어를 사용하면 설계 데이터와 STL 데이터의 차이점을 시각화하고 정량화 할 수 있음
OLS5000의 자동화 기능
1) 분석 작업 자동화 [분석 템플릿 기능]
보고서에 포함 된 모든 작업 및 절차를 템플릿으로 저장할 수 있음
동일한 측정을 반복 할 때 이 템플릿을 사용하면 동일한 절차를 적용하는 다음 데이터 세트에 대한 분석 보고서를 얻을 수 있음
작업자의 개입없이 처리 작업 및 측정 지점을 지정할 수 있으므로 최소한의 편차로 빠르고 정확한 분석이 가능
2) 기준 샘플에 대한 위치 보정 [자동 위치 정렬]
참조 샘플의 기능 사이트를 사전 등록하면 획득 한 데이터의 자동 XYZВ 조정이 가능
[분석 템플릿 기능을 사용하여 동일한 샘플을 반복적으로 검사 할 때 유용]
3) 반복 테스트에 편리 [정렬 기능]
모양이 유사한 연속적인 샘플을 테스트 할 때 정렬 기능은 모터스테이지의 좌표 시스템을 샘플과 일치하도록 설정하여보다 효율적인 검사를 수행 [이 기능을 사용하면 샘플을 스테이지에 놓기 만하면 모든 후속 샘플에 대해 동일한 위치에서 동일한 데이터를 얻을 수 있음]
4) 여러 위치에서 동시 데이터 수집 [다중 영역 데이터 수집]
매크로 컴파일 도구를 사용하여 매크로를 생성하고 편집하여 데이터 수집에서 측정 및보고에 이르는 일상적인 검사 흐름을 자동화 할 수 있음 [결과적으로, 운영자가해야 할 모든 것은 한 번의 클릭으로 안정적인 측정 결과를 얻기 위해 기존 매크로 파일을 불러와 실행하는 것]
5) 완전 자동 검사 흐름 [매크로 기능]
데이터 수집 및 측정에서 보고서 작성에 이르는 검사 워크 플로우를 자동화 할 수 있음
매크로 제작 도구를 사용하여 검사 절차를 쉽게 만들거나 편집 할 수 있음
운영자는 등록 된 매크로 파일을 실행하고 한 번의 클릭으로 신뢰할 수있는 측정 결과를 얻을 수 있음
OLS5000의 다양한 샘플과 호환
1) 최대 210mm 높이의 시료 수용 [확장 프레임]
최대 높이 210mm의 샘플을 스테이지에 배치 할 수 있습니다. 반복성 및 정확성을 포함하여 표준 프레임과 동일한 측정 성능이 보장
2) 다양한 샘플 및 측정 지원
[많은 호환 가능한 대물랜즈]
405nm 파장으로 조정 된 여러 LEXT 전용 대물 렌즈를 포함하여 15 개의 대물 렌즈를 선택할 수 있으므로 고객은 자신의 요구와 응용 분야에 가장 적합한 것을 선택할 수 있음
3) 보장 된 측정 성능
[전용 LEXT 저전력 및 긴 작동거리 대물랜즈]
긴 WD 목표와 10x 목표가 최근 LEXT 목표 라인에 추가되어 측정 성능이 향상
[모든 전용 LEXT 대물 렌즈의 측정 성능이 보장]
OLS5000 현미경이 다른 측정 도구와 비교
광학 현미경, 디지털 현미경
스타일러스 표면 거칠기 테스터
백색광 간섭계
주사 전자 현미경 (SEM)
OLS5000 Sample Applications
[자동차 / 금속 가공]
[Materials]
[전자 부품]
[기타]
[Product Line up]
3D Measuring Laser Microscope
OLS5000-SAF [100 mm motorized stage] [Max. height of sample: 100 mm]
3D Measuring Laser Microscope
OLS5000-EAF [100 mm motorized stage] [Max. height of sample: 210 mm]
3D Measuring Laser Microscope
OLS5000-SMF [100 mm manual stage] [Max. height of sample:40 mm]
3D Measuring Laser Microscope
OLS5000-EMF [100 mm manual stage] [Max. height of sample: 150 mm]
3D Measuring Laser Microscope
OLS5000-EMF [300 mm motorized stage] [Max. height of sample: 37 mm]
SPECIFICATIONS
[MAIN UNIT SPECIFICATIONS]
[OBJECTIVE SPECIFICATIONS]
올림푸스 현미경 전문 회사 세미웍스
경기도 성남시 분당구 탄천상로 164(구미동) 시그마II B동 530호
(문의) TEL : 031-726-5588, Email : semiworks@semiworks.co.kr
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