개요
본Scratch Tester는 도금또는 경질피막등의 밀착강도를 측정하는 시험기로 Max30kg까지의 하중을 인가하여 Scratch시험을 할 수가 있습니다. DLC또는 TiN등의 경질피막과 도금막의 기재와 막의밀착강도를 평가하며, 성막조건의 선정과 공정관리에 활용할 수 있는 시험기입니다. 시료표면에 하중을 가하여 막의 표면을 벗겨막의 파괴상태를 고감도로 검출하고 막의 파괴가 발생된 하중(임계하중)을 알 수 있습니다.
사양
(1) 하중 인가 범위 : 30kgMax
(2) 하중 인가 속도 : 30kg/min
(3) 구 동 분 해 능 : 0.036도/스텝
(4) 구 동 정 도 : 0.1um
(5) 스크라치 속 도 : 0.01~2mm/sec (0.01mm/sec단계별설정가능)
(6) 구 동 범 위 : X축±50mm
Y축±50mm
Z 축Max70mm
(7) 데 이 터 출 력 : USB
(8) 전 원 : AC100
용도
(1) 도금막 및 경질막스크라치, 접착강도 Test
(2) 강판및 다층막의 스크라치 ,접착강도 Test
특성
(1) 마찰력 변화로부터 막의 박리점(파괴점)을 검출
(2) 리얼타임으로 인가하중과 마찰력을 그래프로 표현
(3) 응력(마찰력)과 하중치(인가하중)을 1개의 센서로 검출가능
(4) 피드백에 의한 하중제어로 인가하중을 직선적으로 증가시킴
(5) 조이스틱조작으로 간단히 측정부위의 설정을 할 수 있음
(6) AE센서로 파괴음을 계측하고 막의 박리점검출을 추가할 수 있음 (Option)
• 올림푸스 현미경 - 세미웍스
주소 : 경기도 성남시 분당구 구미동 18 시그마II B동 530호 (탄천상로 164)
문의 : (전화)031-726-5588, (Email)semiworks@semiworks.co.kr
홈페이지 : www.semiworks.co.kr
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