금속 현미경 BX53MRF/BX53MTRF

산업 및 재료 과학 응용 분야를 위해 모듈성을 고려하여 설계된 BX53MRF / BX53MTRF !!!

BX53현미경은 편안하고 사용하기 쉬운 직관적인 현미경

간단한 일루미네이터 : 쉽게 만들어진 전형적 기술

- 간단한 일루미네이터 (Simple Illuminator) : 손 쉬운 전통기술 현미경으로 작동중에 일반적으로 필요한 동작을 최소화

- 일루미네이터 앞쪽의 다이얼을 사용하면 관찰 방법을 쉽게 변경할 수 있음

- 작업자는 다양한 유형의 분석간에 쉽게 변경

- 명시야에서 암시야로, 반사광 현미경에서 가장 자주 사용되는 관찰 방법 사이를 빠르게 전환 할 수 있음

- 분석기를 회전시켜 간단한 편광 관찰을 조정할 수 있음

직관적인 현미경 컨트롤

- 적절한 조리개 스톱 및 필드 스톱 설정을 사용하면 이미지 대비를 제공

- 대물 렌즈의 개구수를 최대한 활용할 수 있음

- 범례는 관찰 방법과 사용 목적에 따라 사용자를 올바른 설정으로 안내

                                             (설정하지 않은 이미지)                        (올바른 FS AS 설정 이미지)

코딩 된 하드웨어 : 현미경 설정 복원

- BX53M은 현미경의 하드웨어 설정을 OLYMPUS Stream 이미지 분석 소프트웨어와 통합하는 새로운 코딩 된 기능을 사용

- 관찰 방법, 조도 및 목표 위치는 모두 소프트웨어 및 핸드셋 내에 기록

- 코딩 된 기능을 사용하면 각 이미지와 함께 현미경 설정을 자동으로 저장

- 저장된 설정을보다 쉽게 재현하고 보고 목적으로 문서를 제공 할 수 있음

- 작업자 시간이 절약되고 잘못된 설정이 사용될 가능성이 최소화

- 사용중인 현재 관측 설정을 핸드 스위치와 소프트웨어에 항상 명확하게 표시

포커스 스케일 인덱스 : 포커스를 빠르게 찾기

- 프레임의 초점 스케일 인덱스는 초점에 대한 빠른 액세스를 지원

- 작업자는 접안 렌즈를 통해 샘플을 보지 않고도 초점을 대략 조정

- 높이가 다른 샘플을 검사 할 때 시간을 절약 할 수 있음

Light Intensity Manager : 일관된 조명

- 조명 강도를 코딩 된 조명기 또는 코딩 된 노즈 피스의 특정 하드웨어 구성과 일치하도록 조정할 수 있음

- 구성에 따라 최대 35 개의 다른 강도 설정을 기록 할 수 있음

쉽고 인체 공학적인 작동

- 인체 공학은 모든 사용자에게 가장 중요

- 현미경 사용자와 OLYMPUS Stream 이미지 분석 소프트웨어와 통합

- 사용자는 인체 공학적 핸드셋 컨트롤 하드웨어 위치 표시 및 간단한 이미지 캡처를 활용할 수 있음

- 간단한 핸드셋을 통해 사용자는 수행해야하는 샘플 및 검사에 집중할 수 있음

 

(전동노이즈피스 회전용 핸드스위치)       (집약된 핸드스위치)                      (스냅 샷 버튼)

BX53M현미경의 다양한 검사 및 분석 작업을 위한 기능

- BX53M은 명시야 (brightfield), 암시야 (darkfield), 편광 및 간섭 간섭 대비와 같은 기존 현미경의 전통적인 대비 방법을 제공

- 새로운 재료가 개발됨에 따라 표준 명암법 만으로는 어려움이 있음

- 신뢰할 수 있는 검사를 위해 고급 현미경 기술을 사용하여 해결할 수 있음

- OLYMPUS Stream 이미지 분석 소프트웨어의 새로운 이미지 획득 기법 및 이미지 획득 옵션은 샘플 및 문서 결과를 평가할 수 있는 추가 옵션을 제공

- BX53M 모델은 기존 모델보다 더 크고 더 무겁고 특화된 샘플을 수용

고급 이미징

MIX Observation : 보이지 않는 것이 보임

- BX53M의 MIX 관측 기술은 명시야 및 암시야 조명 방법을 결합

- MIX 슬라이더의 LED는 기존의 암시야와 유사하지만 유연성이 뛰어난 샘플에서 지향성 암시야를 보여 줌

- 명 시야와 방향 암시야의 조합은 MIX 일루미네이션으로 결함을 강조하고 함몰 된 표면을 결정하는데 특히 도움이 됨

           (Conventional : 평평한 표면의 긁힘과 결함을 강조)                 (MIX : 조명 할 방향을 선택하도록 LED를 조정)     

쉽고 빠른 파노라마 이미지 생성 : MIA 기능                

- 수동 스테이지에서 XY 노브를 움직이기만하면 이미지를 쉽고 빠르게 스티칭 할 수 있음 (전동 스테이지가 필요하지 않음)
- OLYMPUS Stream은 패턴 인식을 사용하여 파노라마 이미지를 생성하여 단일 프레임보다 넓은 시야를 제공

고퀄리티 멀티포거싱 이미지 생성 : EFI 기능

- OLYMPUS Stream 내의 EFI (Extended Focus Imaging) 기능은 높이가 대물 렌즈의 초점 심도를 넘어 확장되는 샘플의 이미지를 캡처하여 함께 초점을 맞춘 하나의 이미지를 만듬

- EFI는 수동 또는 전동 Z 축으로 실행할 수 있으며 Instant EFI는 코딩 또는 전동 Z 축을 사용할 때 높이 맵을 만듬

HDR : 밝은 영역과 어두운 영역을 모두 캡처

- HDR (High Dynamic Range)은 고급 이미지 처리를 사용하여 이미지의 밝기 차이를 조정하여 눈부심을 줄임

- HDR은 디지털 이미지의 시각적 품질을 향상시켜 보다 전문적인 보고서를 생성하는 데 도움을 줌

HDR로 어두운 부분과 밝은 부분 모두에 완벽하게 노출          HDR에 의한 대비 향상

(샘플 : 연료 인젝터 전구)                                        (샘플 : 슬라이스 마그네사이트) 

고급 측정

측정

- OLYMPUS Stream을 통해 다양한 측정 기능을 사용할 수 있어 사용자가 이미지에서 유용한 데이터를 쉽게 얻을 수 있음

- 품질 관리 및 검사를 위해 이미지의 측정 기능이 종종 필요

- OLYMPUS Stream에는 거리, 각도, 사각형, 원, 타원 및 다각형과 등의 측정 기능이 포함되어 있음

- 추가 측정을 위해 모든 측정 결과가 이미지 파일과 함께 저장

계산 및 측정

- OLYMPUS Stream에는 임계 값 방법을 사용하여 물체 (예 : 입자, 스크래치)를 배경에서 안정적으로 분리하는 감지 엔진이 통합되어 있음

재료 과학 솔루션

   (예 : 곡물 평면 측정을위한 물체 감지 및 보고서)

- OLYMPUS Stream은 복잡한 이미지 분석을위한 직관적 인 워크 플로우 지향 인터페이스를 제공

- 버튼 클릭 한 번으로 가장 복잡한 이미지 분석 작업을 가장 일반적인 산업 표준에 따라 신속하고 정확하게 실행

- 반복되는 작업의 처리 시간이 크게 단축되면서 재료 과학자는 분석 및 연구에 집중할 수 있음
- 포함 및 차단 차트에 대한 모듈 식 추가 기능은 언제든지 쉽게 수행 할 수 있음

3D 샘플 측정

(3D 프로파일 측정)

- 외부 모터 식 초점 드라이브를 사용하는 경우 EFI 이미지를 신속하게 캡처하여 3D로 표시 할 수 있음

- 획득 한 높이 데이터는 프로파일의 3D 측정 또는 3D 이미지에서 직접 사용할 수 있음

향상된 샘플 용량

더 많은 샘플 유형 및 크기 보기

- 새로운 150 × 100 mm 스테이지는 이전 모델보다 X 방향으로 더 많이 이동

- 이를 통해 평면 디자인과 함께 더 큰 크기의 샘플 또는 여러 샘플을 스테이지에서 보다 쉽게 ​​배치 할 있음

- 스테이지 플레이트에는 샘플 홀더를 부착하기 위한 탭 구멍이 있음

- 스테이지의 조절 가능한 토크는 좁은 시야각으로 고배율에서 정밀한 포지셔닝을 용이 함

시료 높이 및 중량에 대한 유연성

- 옵션 모듈 식 유닛을 사용하여 스테이지에 최대 105mm의 샘플을 장착 할 수 있음

- 향상된 초점 조정 메커니즘으로 인해 스테이지는 최대 6kg의 총 중량 (샘플 + 스테이지)을 수용 할 수 있음 (BX53에서 더 크고 무거운 샘플을 검사 할 수 있음

- 6 인치 웨이퍼 용 회전 가능 폴더는 스테이지의 중심에서 벗어난 위치에 설계 (이동 범위가 100mm 일 때 폴더를 회전시켜 웨이퍼의 전체 표면 관찰 가능)

- 최적의 토크 조정과 샘플 무게 및 관찰 확대에 사용되는 핸들 그립 디자인을 통해 편안한 스테이지 작동  

샘플 크기에 대한 유연성 

- 샘플이 전통적인 현미경 스테이지에 올려놓기에 너무 크거나 무거울 경우 반사광 현미경의 핵심 광학 구성 요소를 모듈 식으로 구성 할 있음

- 이 모듈 형 시스템 인 BXFM은 기둥을 통해 더 큰 스탠드에 장착하거나 장착 브래킷을 통해 선택한 다른 장비에 장착 할 수 있음

- 사용자는 샘플의 크기 나 모양이 고유 한 경우에도 Olympus의 광학 기기를 활용할 수 있음 

고품질 광학을 개발 한 Olympus 현미경은 입증 된 광학 품질로 뛰어난 측정 정확도를 제공

표면 수차 제어

-  Olympus의 UIS2 목표는 표면 수차 제어를 제공하여 기존의 개구 수 (NA) 및 작업 거리 (WD) 성능 표준을 뛰어 넘어 해상도가 낮은 수차를 최소화 함

LED Illumination

- 기존 할로겐 전구의 색상 특성과 일치하는 고강도 백색 LED 광원을 사용

- LED는 강도에 관계없이 조명의 색 온도를 유지

- LED는 재료 과학 응용 분야 검사에 이상적인 효율적이고 수명이 긴 조명을 제공

Auto Calibration

- 디지털 현미경과 유사하게 OLYMPUS Stream을 사용할 때 자동 보정이 가능

- 자동 교정은 교정 과정에서 사람의 변동성을 제거하여보다 안정적인 측정을 제공

- 단순한 포인트-투-포인트 측정뿐만 아니라 평균적인 여러 측정 포인트를 사용하는 자동 계산 알고리즘을 채택

- 자동 교정은 작업자의 분산을 최소화하고 지속적으로 정확한 정확성을 유지하여 정기적 인 검증이 가능

음영 보정

- 쉐이딩 보정은 OLYMPUS Stream 소프트웨어 내에서 구현되어 이미지 모서리 주위에 쉐이딩을 보정

- 강도 임계 값 설정과 함께 사용하면 음영 처리 또는 수정을 통해보다 정확한 분석이 가능

- MIA로 이미지를 타일링 할 때 보다 균일 한 파노라마 이미지가 획득

BX53M 반사현미경을 통한 다양한 관찰 방법 활용 예

Darkfield

- 암시 야는 시편에서 산란되거나 회절 된 빛을 관찰

- 램프의 빛은 조명 장치에서 링 형태의 조명 광학 장치를 통과하여 시편에 집중

- 시편의 빛은 Z 축의 결함에 의해서만 반사

- 사용자는 광학 현미경의 분해능 한계보다 작은 8nm 수준까지 미세한 긁힘 또는 결함의 존재를 식별 할 수 있음

- Darkfield는 시편의 미세한 긁힘이나 결함을 감지하고 웨이퍼를 포함한 경면 표본을 검사하는 데 이상적

(Solder on PCB-DF + EFI)

Differential Interference Contrast (DIC)

- DIC는 명 시야로 검출 할 수없는 표본의 높이 차이가 개선 된 대비로 3 차원 이미지가 되는 현미경 관찰 기법

- 편광을 기반으로하는이 기술은 특별히 설계된 3 개의 프리즘을 선택하여 사용자 정의 할 수 있음

- 금속 학적 구조, 광물, 자기 헤드, 하드 디스크 매체 및 연마 된 웨이퍼 표면을 포함하여 매우 미세한 높이 차이가있는 시편을 검사하는 데 이상적

(Nodular cast iron etched-DIC)

Polarized Light

- 편광필터에 의해 생성 된 편광을 이용한 관찰 

- 시스템을 통해 반사되는 빛의 강도에 직접 영향을 줌

- 금속 구조(즉, 구상 주철에 흑연의 성장 패턴), 광물 및 LCD 및 반도체 재료 관찰에 적합

(Sericite-POL)

Fluorescence

- 특수 설계된 필터 모듈로 조명 될 때 형광 (다른 파장의 빛을 방출)하는 시편에 사용

- 반도체 웨이퍼의 오염 검사, 포토 레지스트 잔류 물 및 형광 염료를 사용하여 균열을 탐지하는 데 적합

- 가시 광선에서 근적외선 광까지의 색수차를 보정하기 위해 선택적인 아포크로매틱 램프 하우스 컬렉터 렌즈 시스템을 추가 할 수 있음

(Particle on semiconductor wafer)

Infra-Red (IR)

- IR 관찰은 IR 파장의 빛을 쉽게 투과시키는 실리콘 또는 유리로 구성된 전자 장치의 내부를 비파괴적으로 검사하는 바람직한 방법

- IR 대물 렌즈는 Raman 분광법 및 YAG 레이저 수리 응용 분야와 같은 근적외선 기술에도 사용

(Electrode section-IR)

Transmitted Light Observation

- LCD, 플라스틱 및 유리 재료와 같은 투명한 샘플의 경우 다양한 투과형 광 응축기를 사용하여 진정한 투과광 관찰이 가능

- 하나의 편리한 시스템에서 투과광에서 명 시야, 암시 야, DIC 및 편광 이미징의 샘플을 검사

(LCD color filter-Transmitted light BF + HDR)

BX53M 반사 및 투과/반사 조명 시스템

              (BX53MRF)                                              (BX53MTRF)

- BX53M 시리즈에는 두 가지 유형의 현미경 프레임 제공

- 하나는 반사광 전용이고 다른 하나는 반사/투과광

- 두 프레임 모두 수동, 코딩 또는 전동 구성 요소로 구성 할 수 있음

- 프레임에는 전자 시료를 보호하기 위해 ESD 기능이 장착되어 있음

BX53M IR System

 (IR 전용 랜즈)                                                            (색수차 보정 이미지)

- IR 대물 렌즈는 패턴을 보기 위해 실리콘을 투과한 이미징이 필요한 반도체 검사, 측정 및 처리 어플리케이션에 사용

- 5x ~ 100x 적외선 (IR) 대물 렌즈는 가시 광선 파장에서 근적외선을 통해 색수차 보정이 가능

- 고배율 작업의 경우 LCPLN-IR 시리즈 렌즈의 보정 칼라를 회전하면 샘플 두께로 인한 수차가 보정 됨

- 하나의 대물 렌즈로 선명한 이미지를 얻을 수 있음

BX53MRF-S/BX53MTRF-S/BXFM Specifications

BX53M Polarized Light Specifications

BX53M IR Specifications

BX53M Dimensions.

올림푸스 현미경 전문 회사 세미웍스

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